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GB/T14141-1993硅处延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定直排四探针法
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Electron probe microanalysis ( EPMA ) shows that silicon is only substituted for phosphorus.
电子探针分析结果表明,硅只取代磷进入SAPO -5分 子筛骨架.
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实验一装置：加热板与矽晶圆（右）连接至感温棒（左）。
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通过电子探针检测，测得了布敦岩沥青的矿物组成元素主要为碳、氧、硫、硅、镁、铝、钙、钾及铁等；
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